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1、在現(xiàn)代機械系統(tǒng)領(lǐng)域，尤其是IC領(lǐng)域，高速高精運動控制由于它極高的生產(chǎn)能力和良好的性能成為這個領(lǐng)域的一個核心技術(shù)。由于IC生產(chǎn)特點是需要極端的尺度和速度，這就給我們一個極大挑戰(zhàn)：如何在很短的時間、精確的定位條件下實現(xiàn)可重復(fù)的高加速運動。本論文系統(tǒng)的研究了三種不同的控制算法，并提出一種合適的控制算法來滿足高速高精IC封裝運動控制系統(tǒng)的要求。
使用“計算機+運動控制器+伺服電機”的硬件結(jié)構(gòu)來實現(xiàn)進行系統(tǒng)控制。同時使用該結(jié)構(gòu)進行系統(tǒng)參
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