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文檔簡介
1、本文介紹了TDL-150型單晶爐爐體的優(yōu)化設(shè)計過程,對爐底、主爐室、爐蓋各個部件進(jìn)行了自主設(shè)計,并完成了全部技術(shù)文件. 對單晶爐溫場也做了系統(tǒng)的研究:對石墨加熱器進(jìn)行了熱電耦合模擬,確定了化硅電流、電壓；在爐體能得到充分冷卻的條件下優(yōu)化了冷卻水流速,降低了拉晶成本；確定化硅過程坩堝的位置,使化硅過程順利進(jìn)行；對長晶不同階段的溫場進(jìn)行了全局模擬,得到了長晶各個階段爐內(nèi)溫場分布,對溫場的合理性進(jìn)行了分析,同時利用Dornberger
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