基于LGS的聲表面波壓力傳感器研究.pdf_第1頁(yè)
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文檔簡(jiǎn)介

1、論文在對(duì)各向異性壓電介質(zhì)中的Christoffel方程的求解的基礎(chǔ)上,以非線(xiàn)性聲彈性理論為出發(fā)點(diǎn),建立了以初始構(gòu)形為相對(duì)坐標(biāo)的具有初始擾動(dòng)的波動(dòng)方程,推導(dǎo)了反映聲表面波壓力敏感機(jī)理的擾動(dòng)過(guò)程和擾動(dòng)方程,完整地建立了聲表面波壓力傳感器敏感機(jī)理的分析理論.論文在以微擾理論分析聲表面波壓力敏感機(jī)理的理論基礎(chǔ)上,給出了均勻偏載場(chǎng)的擾動(dòng)方程的解,以SAW壓力傳感器靈敏度的簡(jiǎn)化分析打下了基礎(chǔ).論文從三個(gè)方面提出了聲表面波壓力傳感器敏感材料優(yōu)化準(zhǔn)則:

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