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文檔簡介
1、 本文系統(tǒng)介紹了兩種點樣針尖的設(shè)計和制備過程，詳細(xì)地講述了以二氧化硅作為點樣針尖的材料，用RIE刻蝕、KOH濕法刻蝕等微細(xì)加工技術(shù)制備具有微米級尺寸的微懸臂梁點樣針尖和中空錐形點樣針尖，并用微懸臂梁點樣針尖在NanoarrayerTM儀器上進(jìn)行熒光抗生鏈霉素蛋白點樣和測試。 研究結(jié)果表明，用二氧化硅作為材料，通過優(yōu)化微細(xì)加工工藝參數(shù)，如顯影后烘、RIE氣體參數(shù)和KOH濕法刻蝕參數(shù)，可以制得具有微米級尺寸的微懸臂梁點樣針尖；這些點樣
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