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文檔簡介
1、BiFeO3作為少數(shù)在室溫下具有鐵電和反鐵磁性質(zhì)的鈣鈦礦型材料之一,在信息存儲、自旋電子器件和傳感器等方面有著廣泛的應(yīng)用前景。本學(xué)位論文通過脈沖激光沉積(PLD)技術(shù)在單晶SrTiO3基片上以La0.65Sr0.35MnO3作為底電極生長了BiFeO3薄膜,對其晶體結(jié)構(gòu)及其鐵電性質(zhì)進(jìn)行了研究,論文的主要內(nèi)容如下:
(1)概述了BiFeO3薄膜的基本性質(zhì)、制備方法以及國內(nèi)外的研究進(jìn)展。
(2)采用分析純的La2O3、S
2、rCO3、MnO2為原料,利用固相反應(yīng)法制備了純相La0.65Sr0.35MnO3靶材;采用分析純的Bi2O3和Fe2O3為原料,利用固相反應(yīng)法制備了純相BiFeO3靶材,研究了靶材制備的工藝參數(shù)以及靶材的結(jié)構(gòu)性質(zhì)。
(3)利用準(zhǔn)分子脈沖激光器(KrF,248nm,25ns),以單晶SrTiO3(001)為襯底,通過優(yōu)化激光能量、沉積溫度、氧壓以及退火溫度等工藝參數(shù),成功制備了純相的La0.65Sr0.35MnO3薄膜與純相的
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