Mn-Zn、Co2Z軟磁鐵氧體薄膜制備與磁性能的研究.pdf_第1頁
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1、蘭州大學(xué)碩士學(xué)位論文MnZn、Co2Z軟磁鐵氧體薄膜制備與磁性能的研究姓名：劉朝陽申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：物理學(xué)凝聚態(tài)物理指導(dǎo)教師：白建民20090501摘要2磁鉛石型C02Z平面六角鐵氧體薄膜采用M型(BaFel2019)和Y型(Ba2CoEFel2022)靶交替濺射制備了C02Z(Ba3C02Fe24041)鐵氧體薄膜，研究了薄膜成分和熱處理過程對薄膜磁性能和結(jié)構(gòu)的影響。實驗表明薄膜的沉積態(tài)為非晶態(tài)，經(jīng)過不同溫度熱處理后得到了晶化薄

2、膜，薄膜從800℃開始結(jié)晶，1050“C到l100“C晶化較為完全，不同成分的薄膜均形成了C02Z結(jié)晶相，但仍然有其它相的生成；對于成分為MxYlx的鐵氧體薄膜，發(fā)現(xiàn)在不同的熱處理溫度下，隨著M堆垛層含量的增加，飽和磁化強度Ms和矯頑力He的變化趨勢基本一致，都是隨著熱處理溫度的增加呈下降趨勢；熱處理溫度為1000℃時，薄膜Mo5Yo5的飽和磁化強度Ms=250emu／cc左右，其值是各種相的疊加值；從原子力顯微鏡圖片中發(fā)現(xiàn)，在800℃

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