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文檔簡介
1、鈣鈦礦結構氧化物薄膜是當前國際上備受關注的功能材料,在微電子學、光電子學以及半導體器件等方面具有廣闊的應用前景.該論文選取幾種重要的鈣鈦礦結構氧化物薄膜材料,圍繞薄膜以及鐵電薄膜/導電氧化物薄膜異質(zhì)結構的制備、電學性質(zhì)、過渡金屬摻雜及光學性質(zhì)進行研究,取得了一些有意義的結果.主要內(nèi)容如下:1.采用溶液化學方法在Si(100)襯底上制備LaNiO<,3>(LNO)導電薄膜,研究了不同退火溫度對薄膜結構的影響.2.分別研究了氧氣氣氛下和空氣
2、氣氛下熱處理對LNO薄膜的影響.3.采用溶膠-凝膠法制備Pb(Zr,Ti)O<,3>(PZT)薄膜,分析了不同鋯鈦比例對PZT薄膜的影響,認為PZT中各種帶電的離子之間的電荷相互作用是引起晶格間距隨鋯鈦比例變化的主要因素.4.研究了不同氣氛下熱處理得到的LNO薄膜作為底電極對Pt/PZT/LNO薄膜性能的影響,發(fā)現(xiàn)在氧氣條件下熱處理的LNO薄膜作為底電極可以改善電容器結構的鐵電性.5.采用溶膠-凝膠法在不同襯氏上制備了BaTiO<,3>
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