Sol-gel法Mg摻雜PST薄膜的制備與介電性能研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、微波可調介電材料在微波可調元器件上有著廣闊的應用背景,如相控陣天線上的移相器,諧振器,濾波器等。就研究體系而言,目前主要集中在鈣鈦礦相鐵電材料,如鈦酸鍶鋇(BST)及其摻雜系列。最近Cross等發(fā)現鈦酸鍶鉛(PST)陶瓷具有較高可調性和相當低的介電損耗,是一種非常適用于電場調節(jié)元件的材料。與BST相比,特別作為薄膜材料,PST的鐵電臨界尺寸較小,晶化溫度較低,制備工藝與Si微電子工藝兼容,更能夠滿足高性能的Si基集成電路的需要,對推動現

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