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文檔簡介
1、單片微波集成電路(MMIC)具有尺寸小、重量輕、可靠性高、生產(chǎn)重復(fù)性好等優(yōu)點(diǎn)。作為相控陣?yán)走_(dá)發(fā)射/接收(T/R)組件的重要組成部分，數(shù)字式移相器也已經(jīng)不斷向著以GaAs工藝為基礎(chǔ)的MMIC數(shù)字式移相器的方向發(fā)展。 本文首先概述了MMIC的發(fā)展概況，MMIC移相器的應(yīng)用和發(fā)展。其次對各種移相器進(jìn)行了理論上的分析和探討，介紹了各種移相器的原理和設(shè)計(jì)。然后對用于單片微波集成電路的無源器件和有源器件進(jìn)行了分析，介紹了其各種等效模型。對各
2、MMIC foundry進(jìn)行了調(diào)研，并最終選擇了WIN—foundry的PL15-10工藝線。首先用ADS仿真了WIN—PL15—10中pHEMT的開關(guān)特性，然后對各個移相位設(shè)計(jì)合適的移相網(wǎng)絡(luò)設(shè)計(jì)了X波段MMIC六位數(shù)字移相器，六位都采用集總元件設(shè)計(jì)，小相位采用單管并聯(lián)移相網(wǎng)絡(luò)結(jié)構(gòu)和單T型結(jié)構(gòu)，大相位采用單T型結(jié)構(gòu)串聯(lián)結(jié)構(gòu)和高低通濾波器結(jié)構(gòu)進(jìn)行設(shè)計(jì)仿真。并根據(jù)相關(guān)設(shè)計(jì)規(guī)則完成版圖設(shè)計(jì)。該移相器工作頻率在7～11GHz，64個移相態(tài)均方根
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