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文檔簡(jiǎn)介
1、微電子機(jī)械系統(tǒng)(簡(jiǎn)稱微機(jī)械)是在八十年代后期崛起的一門新興的前沿學(xué)科。目前,作為二十一世紀(jì)的高新技術(shù)和潛在的龐大高新技術(shù)產(chǎn)業(yè),微機(jī)械已引起世界各國(guó)的普遍關(guān)注,國(guó)內(nèi)外眾多的大學(xué)、科研和產(chǎn)業(yè)部門都正在進(jìn)行廣泛深入的研究。微機(jī)械是一種獨(dú)立的微小型化的機(jī)電系統(tǒng),主要由微驅(qū)動(dòng)器,微傳感器,微執(zhí)行器、微控制器以及能源等幾種要素組成。以微電機(jī)為代表的微驅(qū)動(dòng)器一直是微機(jī)械系統(tǒng)的關(guān)鍵技術(shù)和研究熱點(diǎn)之一,微電機(jī)的技術(shù)水平在一定程度上反應(yīng)了一個(gè)國(guó)家微機(jī)械發(fā)展
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