基于體硅加工技術(shù)的安培型微電極生物傳感器研究.pdf

1、摘要摘要本文提出了一種新型的硅基襯底體硅加二[_安培型微電極生物傳感器。計(jì)了傳感器，并利用各向異性硅腐蝕技術(shù)制備了該傳感器。硅片、金及作者設(shè)SU一8分別用作制作襯底、電極及微反應(yīng)池。鉑化并聚合毗咯第一次被用作表面修飾。該傳感器的設(shè)計(jì)目標(biāo)是:低的單片成本、微型化及與工C工藝的兼容。SU8微反應(yīng)池用來盛裝反應(yīng)溶液以降低反應(yīng)液用量及單片成本。體硅微加I鉑化并聚合毗咯用來增強(qiáng)傳感器的靈敏度，以達(dá)到微型化的目的。使用硅片作為襯底使得與TC工藝的兼

2、容成為可能。為尋找最佳的電極表面修飾方法及酶固定化方法，設(shè)計(jì)并實(shí)驗(yàn)了幾種不同的電極表面修飾方法及酶固定化方一法。設(shè)訓(xùn)并制作了用于循環(huán)伏安法的掃描電壓模塊。該掃描電壓模塊能完全滿足實(shí)驗(yàn)需要。該微電極傳感器己成功應(yīng)用于葡萄搪檢測(cè)。與傳統(tǒng)的安培型傳感器及表面加_I_技術(shù)制作的安培型微電極傳感器相比，該傳感器有敏感面積較小、檢測(cè)下限較低、檢測(cè)范圍較寬、靈敏度較高、重現(xiàn)性較好、易于制作陣列、易于與處理電路集成等優(yōu)點(diǎn)。從原理卜分析了安培型微電極免疫

3、傳感器的可行性、優(yōu)越性以及研究中需要重點(diǎn)解決的問題。關(guān)鍵字:生物傳感器，安培型，微電極，微反應(yīng)池，體硅微加工獨(dú)創(chuàng)性聲明本人聲明所呈交的學(xué)位論文是本人在導(dǎo)師指導(dǎo)下進(jìn)行的研究工作及取得的研究成果。據(jù)我所知，除了文中特別加以標(biāo)注和致謝的地方外，論文中不包含其他人己經(jīng)發(fā)表或撰寫過的研究成果，也不包含為獲得中國(guó)科學(xué)院電子學(xué)研究所或其他教育機(jī)構(gòu)的學(xué)位或證書而使用過的材料。與我一同工作的同志對(duì)本研究所做的任何貢獻(xiàn)均已在論文中作了明確的說明并表示謝意。

4、學(xué)位論文作者簽名:簽字日期沸‘月夕日學(xué)位論文版權(quán)使用授權(quán)書本學(xué)位論文作者完全了解中國(guó)科學(xué)院電子學(xué)研究所有關(guān)保留、使用學(xué)位論文的規(guī)定，有權(quán)保留并向國(guó)家有關(guān)部門或機(jī)構(gòu)送交論文的復(fù)印件和磁盤，允許論文被查閱和借閱。本人授權(quán)中國(guó)科學(xué)院電子學(xué)研究所可以將學(xué)位論文的全部或部分內(nèi)容編入有關(guān)數(shù)據(jù)庫進(jìn)行檢索，可以采用影印、縮印或掃描等復(fù)制手段保存、匯編學(xué)位論文。(保密的學(xué)位論文在解密后適用本授權(quán)書)介文作者簽一衫葉簽字:期砰‘月了日導(dǎo)師簽名:厭善介簽字日