PMMA基PCR生物芯片的準分子激光微加工、鍵合、封裝技術(shù)研究.pdf

1、該文主要從微流控芯片微通道的微加工、密封微流路的鍵合技術(shù)和整體PCR微流控芯片系統(tǒng)封裝這三個方面對微流控芯片進行了深入的研究.該文探討了248nm的準分子激光對于高聚物材料的加工機理,總結(jié)和分析了現(xiàn)有的理論模型.研究了各種實驗加工參數(shù)對于刻蝕PMMA材料的影響,并在此基礎(chǔ)上得到了適合PMMA基PCR微流控芯片微通道加工的工藝參數(shù),能夠?qū)崿F(xiàn)通過改變工藝參數(shù)和加工步驟控制微通道的尺寸和表面形貌.同時首次提出了利用低能量準分子激光對微結(jié)構(gòu)進行

2、非接觸、無應力的新型拋光方法,顯著提高了微結(jié)構(gòu)的表面質(zhì)量.該文針對微流控芯片內(nèi)部微通道尺寸微小,分布復雜的特點.主要研究了膠粘鍵合技術(shù)和熱鍵合技術(shù),在掌握鍵合機理的基礎(chǔ)上設(shè)計了鍵合裝置,改進了鍵合方法并總結(jié)了各種鍵合參數(shù)對于微流控芯片總體鍵合效果的影響,得出了適用于微流控芯片鍵合的穩(wěn)定可靠的鍵合方法和工藝參數(shù).該文根據(jù)PCR反應條件的要求,集成封裝了PCR微流控芯片上的微流路單元、溫控單元和接口單元.不僅能夠?qū)崿F(xiàn)反應單元與進樣系統(tǒng)的準確