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文檔簡介
1、該文在多孔不銹鋼表面修飾技術研究中,分別對漿料涂敷法和溶膠-凝膠法制備非對稱多孔不銹鋼膜的工藝技術進行了研究,利用TEM和SEM分別對納米不銹鋼粉末、TiO<,2>溶膠顆粒和微孔不銹鋼載體及非對稱膜的表觀形貌進行了表征,采用AP90透氣儀對不銹鋼載體及非對稱膜的干空氣滲透率進行了測量.用漿料涂敷法,將納米不銹鋼粉末沉積在多孔不銹鋼載體上,形成孔徑依次減小的微孔不銹鋼載體,其孔徑約為200nm左右,在壓差為0.1MPa時,其干空氣滲透率約
2、為200cm<'3>/cm<'2>·min.經(jīng)溶膠-凝膠法,在微孔不銹鋼載體上沉積TiO<,2>薄膜,其孔徑約為100nm,在壓差為0.1MPa時,其干空氣滲透率約為80cm<,3>/cm<,2>·min.在鈀釔合金膜離子束輔助沉積工藝研究中,于離子束輔助沉積實驗裝置上,分別采用Pd、Y、Sn、Pd、Pd-8Y作為濺射靶,系統(tǒng)地研究了薄膜濺射沉積速率與沉積條件的關系,首次得到了Pd、Y、Pd-8Y沉積速率與濺射束流和時間的關系式,探討了
3、濺射沉積的機理.采用SEM和AFM分析了薄膜的表觀形貌及微結構,利用臺階儀和RBS分析了薄膜厚度,分別用XRD、SAM和XPS研究了薄膜的成分及薄膜表面的吸附行為.該論文通過實驗研究解決了微孔不銹鋼表面修飾、非對稱性膜制備、鈀釔合金膜離子束輔助沉積等一系列關鍵技術,建立了以非對稱性微孔不銹鋼膜為支撐體沉積鈀釔合金膜的制備工藝,為鈀釔合金膜在氫同位素的純化與分離及其它領域的應用奠定了技術基礎,通過理論研究,對鈀釔合金膜在應用中可能由于雜質
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