飛秒激光雙光子三維微細加工系統(tǒng)的研究.pdf

1、飛秒激光雙光子微細加工是利用強聚焦飛秒激光誘導材料發(fā)生顯著的雙光子激發(fā),進而實現(xiàn)復雜三維結構的微納米加工.作為一種新興微細加工技術,飛秒激光雙光子微細加工技術以其特有的真正三維加工能力,亞微米級的分辨率等特點,正逐漸引起國內(nèi)外微細加工領域的重視.該文基于高水平大學建設重點科研項目和國家自然科學基金項目(No.50275140)資助,研制了一套飛秒雙光子三維微細加工實驗系統(tǒng),對雙光子加工原理,進行了較為深入的研究,并取得了一系列實驗結果.

2、該文的主要成果如下:1.自行設計搭建了一整套飛秒雙光子三維微細加工系統(tǒng).其中包括作為光源的鈦寶石飛秒激光系統(tǒng),用來控制曝光量的光路開關,實時監(jiān)控系統(tǒng),和實現(xiàn)系統(tǒng)協(xié)調(diào)工作的控制軟件.2.在對材料的非線性效應、雙光子激發(fā)形式、雙光子吸收截面、雙光子激發(fā)速率等方面進行了深入研究的基礎上,分別從激發(fā)光強和自由基濃度兩個方面對系統(tǒng)進行了分辨率的理論建模.并作了相關的實驗驗證.3.在完成了相應的工藝實驗得到最優(yōu)的工藝參數(shù)的基礎上,對于不同材料進行了