模板輔助下氧化鋅微納結構的生長研究.pdf

1、利用模板輔助對ZnO微納結構的大小、形貌、結構和排布等進行控制,在ZnO微納器件制備及應用方面具有重要意義。
　　 在本文中,我們首先采用低溫液相水熱法,在預修飾了磁控濺射制備的籽晶層的襯底上,成功制備了大密度且高度取向的ZnO納米棒陣列,首次對籽晶層制備時的磁控濺射參數(shù)對ZnO納米棒形貌的影響進行了探討。通過調節(jié)前驅體溶液濃度、加入檸檬酸鈉或聚乙醇胺,制得了不同形貌、不同長徑比的取向ZnO納米棒/塔/線陣列。
　　 在

2、此基礎上,通過在籽晶層上覆蓋光刻膠層做為模板,ZnO微納結構的在襯底上的空間分布控制得以實現(xiàn),在調整生長參數(shù)后,得到了周期性排列的ZnO納米棒/管/線/環(huán)狀陣列。
　　 更為重要的是,通過將生長過程分為兩步,并使用檸檬酸鈉和聚乙醇胺這兩種作用相反的輔助劑,在光刻膠模板微孔的限制下實現(xiàn)了籽晶層多晶晶種的融合,首次在多晶襯底上以傳統(tǒng)光刻技術精確控制了單個ZnO晶體的生長位置,并將控制單個ZnO棒晶的模板尺寸由文獻普遍報道的100nm