有機(jī)氣相噴涂技術(shù)研究.pdf

1、最近，有機(jī)小分子薄膜因其獨特的性能廣泛應(yīng)用于各種有機(jī)光電器件（如OLEDs、有機(jī)太陽能電池及有機(jī)TFT等）。這些有機(jī)薄膜一般是在一個高真空環(huán)境中利用蒸鍍（VTE）的方式得到高純度、均勻性好，性能可靠的薄膜，但在高真空環(huán)境下難以實現(xiàn)大面積均勻薄膜的沉積且成本較高，不利于大規(guī)模生產(chǎn)。其它有機(jī)成膜方式（如旋涂及噴墨打印技術(shù)等）在有機(jī)薄膜制作中也有一定應(yīng)用，但難以保證薄膜均勻性。因此，生產(chǎn)成本高、成品率底、難以實現(xiàn)大面積均勻沉積仍是制約有機(jī)光電

2、器件發(fā)展的重要原因。
　　本文總結(jié)了傳統(tǒng)的有機(jī)薄膜生長方式。在對基于載氣體傳輸?shù)挠袡C(jī)氣相沉積及有機(jī)氣相噴涂技術(shù)進(jìn)行研究的基礎(chǔ)上，對大氣環(huán)境下進(jìn)行有機(jī)氣相噴涂進(jìn)行了創(chuàng)新性及探索性的研究，本文的研究內(nèi)容主要分為四個方面：
　　1.有機(jī)氣相沉積技術(shù)的研究
　　介紹了有機(jī)氣相沉積的概念，利用Fluent對有機(jī)氣相沉積過程中氣體的傳送機(jī)制進(jìn)行仿真，建立了有機(jī)分子的沉積模型并利用蒙特卡洛法分析了有機(jī)分子的沉積過程，分析了加掩膜及不

3、加掩膜情況下不同的過程參數(shù)對薄膜沉積的影響。
　　2.大氣環(huán)境下進(jìn)行有機(jī)氣相噴涂的模擬研究
　　詳細(xì)介紹了有機(jī)氣相噴涂的原理，并提出了在大氣環(huán)境下進(jìn)行有機(jī)氣相噴涂的概念。建立了大氣環(huán)境下有機(jī)氣相噴涂的噴頭模型，利用Fluent分析了不同的噴頭形狀及參數(shù)對噴涂的影響，依據(jù)仿真得出最佳的噴頭模型，用以指導(dǎo)實際噴頭的制作。
　　3.設(shè)計有機(jī)氣相噴涂系統(tǒng)實現(xiàn)大氣環(huán)境下有機(jī)薄膜的噴涂生長
　　根據(jù)仿真結(jié)果，設(shè)計并制作大氣環(huán)