基于FFT的薄膜厚度干涉測(cè)量方法.pdf

1、西安工業(yè)大學(xué)碩士學(xué)位論文基于FFT的薄膜厚度干涉測(cè)量方法姓名：帥高龍申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專業(yè)：光學(xué)工程指導(dǎo)教師：王春平;蘇俊宏20090430I n t e r f e r o m e t r i cM e a s u r e m e n t M e t h o d o f T h i nF i l m T h i c k n e s sD i s c i p l i n e ：O p t i c a lE n g i n e e r i

2、 n gS t u d e n t S i g n a t u r e ：S u p e r v i s o r S i g n a t u r e ：B a s e d o nF F T5 k 于岣A b s t r a c tT h e k e r n e lo f m o d e m i n t e r f e r o m e t r y i st oo b t a i n n e c e s s a r ys u r f a c

3、 es h a p e a n d p a r a m e t e r b yp r o c e s s i n g i n t e r f e r o g r a m w i t h r e a s o n a b l e a l g o r i t h m ．W i t h t h e d e v e l o p m e n t o f o p t i c a lm a n u f a c t u r i n ga n dp r o

4、 c e s s i n g i n d u s t r i e s ，h i g h e rp r e c i s i o ni sr e q u i r e df o r t h e p r o c e s s i n g o f t h i nf i l md e v i c e s ．b u tt h et r o u b l ei n h i g h ．p r e c i s i o nm e a s u r e m e n

5、to f t h i nf i l mt h i c k n e s ss h o u l db es o l v e db e f o r eh i g h ．p r e c i s i o n t h i n ．f i l md e v i c e s c a n b ep r o d u c e d ．O n t l l eb a s i so f t h es t u d yo f t h eb a s i cp r i n c

6、 i p l eo f i n t e r f e r o m e t r yb yu s i n g2 一DF F T a r i t h m e t i c ，an e w m e t h o dt om e a s u r et h et h i nf i l mt h i c k n e s s i s p r o p o s e db a s e do nt h eF F T a l g o r i t h m ．Af r i

7、 n g ei n t e r f e r o g r a m o f t h et h i nf i l mC a nb eo b t a i n e db yt a k i n ga d v a n t a g e o fT w y m a n —G r e e ni n t e r f e r o m e t e r , a n dt h et h i c k n e s sp a r a m e t e ro f t h ef

8、i l mC a nb ea c q u i r e db y t h et e c h n i q u e o fi n t e r f e r o g r a mp r o c e s s i n g ．T h em a i ns t u d i e so f t h i s p a p e r a r ea sf o l l o w s ：F i r s t l y ，t oa c q u i r et h ei n f o r

9、m a t i o no f t h ef i l m ’Se d g e ，t h ee d g eo f t h ef i l m C a n b e i d e n t i f i e dd i r e c t l y ．S e c o n d l y ，t h ee f f e c t i v e c i r c u l a ri n t e r f e r o g r a mi ss p r e a dt ob e c o m

10、 e s q u a r er e g i o ni no r d e r t oa d o p t2 - D F F T a l g o r i t h mb yr e g i o ns p r e a d i n go fi n t e r f e r o g r a m ．T h i r d l y ，f i l t e rt h es p e c t r u mo f i n t e r f e r o g r a m ．F o

11、 u r t h l y ，t h eo r i g i n a lw a v e p h a s ed i s t r i b u t i o nw i t ht h ei n f o r m a t i o n o f f i l mC a n b e o b t a i n e db y c a r r y i n g o u t2 - D I F F T ．B e c a u s e o ft h ea r c t a n g

12、e n tc o m p u t i n g ，i nt h ee n t i r ew a v er e g i o ne x i s tp h a s ej u m p i n g ，a sw e l la sb e t w e e nf i l ma n dt h e e d g e —f a c e ．I t i s e s s e n t i a lt o m a k ep h a s eu n w r a p p i n g

13、o ft h ef i l mr e g i o na n dt h es u b s t r a t er e g i o nr e s p e c t i v e l y ．F i f t h l y ，t h ea l g o r i t h mp r o c e s s i n gs o f t w a r ei s p r e p a r e dt or e a l i z ei d e n t i f i c a t i o

14、 no ft h ee d g ef i l m s ，r e g i o n a l e x t e n s i o n ，f i l t e r i n g ，u n w r a p p i n gt h ew r a p p e dp h a s ee t c ．s u r f a c ed i s t r i b u t i o nw i t ht h ef i l mi n f o r m a t i o nc a nb eo

15、 b t a i n e d ，a n dt h et h i c k n e s so ft h i nf i l ms a m p l e si sm e a s u r e d ．I nt h ea c t u a lt e s t ，v a r i o u sg l a s s ( K 9 ) s u b s t r a t e sc o a t e dw i t hd i f f e r e n t t h i c k n e

16、 s sS i 0 2f i l m sw e r e m e a s u r e m e n t ，a n dt h et e s t r e s u l t sa r ep r o c e s s e d b y t h ea l g o r i t h mp r o c e s s i n gs o f t w a r e ．T h er e s u l t si n d i c a t e st h a tt h eh e i