基于光切法的表面粗糙度光電檢測(cè)技術(shù)的研究.pdf

1、表面粗糙度測(cè)量技術(shù)在工程技術(shù)研究中占有非常重要的地位,合理地評(píng)價(jià)表面粗糙度,對(duì)于產(chǎn)品加工質(zhì)量的評(píng)定、機(jī)械性能的分析和加工條件的改善都具有重要的意義。光切法作為一種基本的檢測(cè)表面粗糙度方法,具有檢測(cè)范圍寬、測(cè)量結(jié)果可靠等特點(diǎn)。光切顯微鏡在我國(guó)的工廠和高校實(shí)驗(yàn)室等仍然是最常用的儀器之一,而且,光切法在在線測(cè)量和三維形貌測(cè)量領(lǐng)域也有很大的應(yīng)用潛力。
　　本文通過研究光切顯微鏡原理,根據(jù)9J型光切顯微鏡結(jié)構(gòu),配置了合適的光學(xué)攝錄接口、光電

2、耦合器件CCD和圖像采集卡等,實(shí)現(xiàn)了9J型光切顯微鏡的視頻化改造。在此基礎(chǔ)上,應(yīng)用Visual C++6.0作為軟件開發(fā)工具,結(jié)合數(shù)字圖像處理、分析技術(shù),開發(fā)出一套集圖像實(shí)時(shí)采集、處理、分析和參數(shù)計(jì)算于一體的軟件,實(shí)現(xiàn)了對(duì)表面粗糙度參數(shù)的自動(dòng)化測(cè)量。應(yīng)用該軟件對(duì)標(biāo)準(zhǔn)量塊進(jìn)行測(cè)量,得到了比較好的測(cè)量結(jié)果。
　　本文通過對(duì)單物鏡反射原理及單物鏡光切法原理的研究分析,探索出單物鏡光切法檢測(cè)表面粗糙度的新方法。在理論的基礎(chǔ)上,研制了單物鏡