能量天平的高精度激光干涉位移測(cè)量系統(tǒng)研究.pdf

1、中國計(jì)量科學(xué)研究院張鐘華院士首次提出了“能量天平”方案，實(shí)現(xiàn)用精密電磁測(cè)量技術(shù)實(shí)現(xiàn)建立量子質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)的目標(biāo)。根據(jù)項(xiàng)目要求，在“能量天平”中設(shè)計(jì)了一套單頻激光干涉儀系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)互感量測(cè)量中線圈位置的精密定位。
　　 系統(tǒng)采用整體式的布局和偏振光移相的方法，提高了系統(tǒng)的穩(wěn)定性和重復(fù)性；采用光程差放大技術(shù)，提高了系統(tǒng)的分辨率：采用四通道探測(cè)原理和共模抑制的方法，對(duì)四路相互正交的信號(hào)進(jìn)行差分處理，減小光強(qiáng)零漂以及環(huán)境變化對(duì)系統(tǒng)的影響。

2、>　　 使用高速信號(hào)處理卡和PC機(jī)，在VC++環(huán)境下，設(shè)計(jì)一套測(cè)量軟件，對(duì)激光干涉位移測(cè)量結(jié)果進(jìn)行環(huán)境參數(shù)補(bǔ)償和修正，以及抗干擾處理。在實(shí)現(xiàn)信號(hào)高倍細(xì)分和高速實(shí)時(shí)動(dòng)態(tài)測(cè)量要求的同時(shí)，有效保證整個(gè)儀器的總體精度。
　　 針對(duì)于實(shí)驗(yàn)中，測(cè)量光軸和導(dǎo)軌運(yùn)動(dòng)軸的調(diào)整困難等問題，予以分析。由此，研制出一套激光干涉儀光路準(zhǔn)直系統(tǒng)裝置，可以實(shí)現(xiàn)干涉光路的準(zhǔn)確調(diào)整，從而降低余弦誤差對(duì)測(cè)量系統(tǒng)的影響。
　　 論文對(duì)測(cè)量系統(tǒng)的精度進(jìn)行了評(píng)