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文檔簡介
1、場發(fā)射平板顯示(Field Emission Display，F(xiàn)ED)是在研的新型平板顯示技術。新型器件結構的研究，是FED技術研究的重點內(nèi)容。本論文針對多柵結構形式的FED器件，基于電子光學透鏡理論，利用有限元分析技術，將器件結構與驅(qū)動模式結合，模擬與分析三柵驅(qū)動FED器件的電子光學特性。具體地，在探討FED工作原理基礎上，介紹了在雙柵結構FED器件中引入第三柵極以降低控制柵極工作電壓的方案以及三柵極結構FED器件發(fā)光單元的結構組成。
2、為了獲得三柵極結構FED的電子光學特性及其驅(qū)動特性，引入了有限元分析方法，借助COMSOL MULTIPHYSICS分析軟件對三柵極結構FED器件進行了模擬。通過改變柵極結構參數(shù)，對電極工作電壓、電子發(fā)射和電子透過率、電子在陽極上形成的光斑進行計算和分析，獲得柵極結構與器件電子光學特性，并確定出了三柵極結構FED器件的發(fā)光單元結構參數(shù)和工作電壓最優(yōu)化方案：透射孔半徑r=150μm；中央柵極厚度d=50μm；陰柵高度h=5μm；中央柵極電
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