基于靈敏度解析函數(shù)的光刻機(jī)波像差檢測(cè)理論與方法研究.pdf

1、Zernike系數(shù)之間的線性解析聯(lián)系，從而推導(dǎo)得到適用于圓形照明光源的波像差靈敏度解析函數(shù)。波像差靈敏度矩陣分別由奇、偶像差靈敏度解析函數(shù)構(gòu)成，可直接通過數(shù)值計(jì)算提前得到（無需使用PROLITH軟件仿真獲?。?，分別用于檢測(cè)奇、偶像差Zernike系數(shù)；
　　改進(jìn)了適用于圓形照明光源的波像差在線檢測(cè)方法，提出一種適用于任意照明光源的波像差在線檢測(cè)新理論與新方法，首次提出波像差廣義靈敏度函數(shù)的概念，用于解析表征任意光源照明條件下的奇像

2、差和偶像差靈敏度，從而實(shí)現(xiàn)37級(jí)Zernike系數(shù)的快速、精確檢測(cè)。廣義靈敏度函數(shù)由Zernike級(jí)次、光瞳采樣點(diǎn)位置及光源照明設(shè)置決定，是波像差檢測(cè)方法的核心。對(duì)于一組待測(cè)Zernike系數(shù)，廣義靈敏度函數(shù)也可定義為靈敏度核函數(shù)，構(gòu)成用于波像差檢測(cè)的靈敏度核函數(shù)空間。靈敏度核函數(shù)成為了聯(lián)系觀測(cè)信號(hào)與波像差Zernike系數(shù)線性映射關(guān)系的橋梁，波像差檢測(cè)方法的實(shí)質(zhì)是將觀測(cè)信號(hào)在靈敏度核函數(shù)空間進(jìn)行分解。
　　通過輸入的4種主流離軸

3、照明光源，利用PROLITH軟件開展了任意光源照明設(shè)置下的波像差在線檢測(cè)仿真實(shí)驗(yàn)及檢測(cè)誤差分析。通過分析大量仿真檢測(cè)結(jié)果，發(fā)現(xiàn)提出的檢測(cè)理論與方法精確可靠，波像差37級(jí)Zernike系數(shù)的檢測(cè)絕對(duì)誤差在0.1mλ數(shù)量級(jí)，波像差光瞳面的反演精度高達(dá)mλ量級(jí)。另外，由于采用制作最為簡(jiǎn)易的二元光柵結(jié)構(gòu)作為掩模標(biāo)記配合透射像傳感器實(shí)現(xiàn)波像差在線檢測(cè)，因此本論文提出方法具備簡(jiǎn)便易行、低成本、高效率等諸多優(yōu)點(diǎn)，為光刻機(jī)投影物鏡系統(tǒng)在線監(jiān)測(cè)與優(yōu)化控制