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文檔簡介
1、薄膜材料的熱釋電性能衣基在紅外探測領(lǐng)域的應(yīng)用,近年來一直是國際上材料研究的熱點之一.該文圍繞這一方向,從理論和實驗兩個方面,對鋯鈦酸鉛(Pb(Zr<,0.53>Ti<,0.47>)O<,3>,PZT)鐵電薄膜的制備、性能以及薄膜熱釋電紅外探測器的結(jié)構(gòu)設(shè)計、性能優(yōu)化和制作工藝進行了深入、系統(tǒng)的研究.理論方面,嘗試使用光學矩陣方法,以洛倫茲振子(LorentzOscillators)介電頻散關(guān)系為基礎(chǔ)對PZT鐵電薄膜中紅外光區(qū)的反射光譜進行
2、擬合,計算出了PZT鐵電薄膜中紅外光區(qū)復(fù)折射率,這對于深入了解PZT鐵電薄膜熱釋電紅外探測器的中收和響應(yīng)特性,特別是進行精確的計算機性能模擬具有重要的意義.同時,根據(jù)PZT鐵電薄膜紫外、可見和近紅外光區(qū)的透射光譜,采用"包絡(luò)法"(Envelopemethod)計算出了PZT薄膜的厚度、填充密度以及紫外、可見和近紅外光區(qū)的復(fù)折射率及其射散頻譜.此外,建立了薄膜熱釋電紅外探測器和吸收模型,并改變以往的傳統(tǒng)方法,將吸收模型與熱釋電響應(yīng)模型結(jié)合
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