風(fēng)洞試驗(yàn)用高靈敏度加速度傳感器系統(tǒng)的研究.pdf

1、風(fēng)洞試驗(yàn)在生產(chǎn)研制中尤其是在氣動(dòng)力研究和飛行器啟動(dòng)設(shè)計(jì)占有主導(dǎo)作用，而加速度參數(shù)對(duì)于風(fēng)洞試驗(yàn)數(shù)據(jù)的精確性至關(guān)重要。叉指電極電容式傳感器制造工藝簡(jiǎn)單、系統(tǒng)穩(wěn)定性良好，適合風(fēng)洞環(huán)境的加速度檢測(cè)。本論文設(shè)計(jì)的加速度傳感器采用變極距、差動(dòng)式的敏感結(jié)構(gòu)，其靈敏度與線性度較好，易于信號(hào)檢測(cè)電路集成。本文對(duì)傳感器表頭部分進(jìn)行了機(jī)械模型的建立與計(jì)算分析，對(duì)電學(xué)模型進(jìn)行了仿真分析。
　　 本文介紹幾種實(shí)用的微電容測(cè)量電路，分析了各個(gè)電路優(yōu)缺點(diǎn)并且

2、對(duì)其中一些電路進(jìn)行了改進(jìn)?；诮涣骷?lì)電路的原理，本傳感器檢測(cè)電路采用調(diào)制解調(diào)方法，并且檢測(cè)系統(tǒng)還采用閉環(huán)結(jié)構(gòu)。我們?cè)趯?duì)信號(hào)檢測(cè)部分框圖進(jìn)行設(shè)計(jì)的基礎(chǔ)上，對(duì)各部分電路模塊進(jìn)行了設(shè)計(jì)，并在后期電路仿真時(shí)進(jìn)行了優(yōu)化，優(yōu)化了電路性能。
　　 本文還對(duì)制作完成的加速度傳感器進(jìn)行了性能檢測(cè)，可得加速度傳感器靈敏度為500mv/g，分辨率為0.01mg，線性度<0.2％，滿足風(fēng)洞檢測(cè)系統(tǒng)需要。在此基礎(chǔ)上，本文構(gòu)建了風(fēng)洞監(jiān)測(cè)系統(tǒng)對(duì)加速度信號(hào)進(jìn)