IC制造裝備中專用機器人運動學分析與設計.pdf

1、本文以一種可實現(xiàn)整周回轉二平動自由度并聯(lián)機構為對象，研究了機構的運動學建模、尺度綜合、伺服電機參數預估、軌跡規(guī)劃等關鍵技術，為硅片傳輸機械手樣機的設計和建造奠定了基礎，論文取得如下主要研究成果：
　　 □運用矢量法原理，建立了并聯(lián)機械的閉環(huán)矢量方程，由此推導出其位置正逆解分析模型，及速度、加速度模型。在此基礎上考慮機構的速度雅克比矩陣的條件數、末端運動分辨率等因素，提出了一種綜合評價指標并以其在工作空間內的均值和波動幅度值最小為

2、優(yōu)化目標，對機構進行了尺度綜合，為機構機械設計奠定了基礎。
　　 □利用虛功原理推導了機構剛體逆動力學模型，借助奇異值分解原理，推導了關節(jié)變量上界與單位操作變量間的映射關系，在此基礎上預估了機械手伺服進給電機參數。
　　 □研究了一種以機械手的運行時間和搬運加加速度為綜合優(yōu)化目標的軌跡規(guī)劃方法。采用分段多項式確定幾何路徑后，以關節(jié)轉矩、關節(jié)轉速為系統(tǒng)約束，同時分段設置路徑加速度、加加速度上限等工作約束，利用三次參數樣條進