雙級(jí)旋片真空泵內(nèi)部流場分析及抽氣效率分析研究.pdf

1、旋片泵是最基本的真空獲得設(shè)備，對(duì)旋片泵的研究具有重要意義。抽氣效率是旋片泵重要的性能指標(biāo)之一，提高抽氣效率可以大幅度縮短抽氣時(shí)間，有利于生產(chǎn)成本的降低。與國外同類產(chǎn)品相比，在抽氣性能上國產(chǎn)泵與國外泵還有很大差距。要提高國產(chǎn)泵的性能，縮小與國外泵的差距，提高國產(chǎn)泵的抽氣效率勢(shì)在必行。
　　本文以VRD-16雙級(jí)旋片泵的抽氣效率及內(nèi)部流場分析作為主要研究方向，對(duì)雙級(jí)旋片泵的理論抽速進(jìn)行計(jì)算，利用三維繪圖軟件Pro/ENGINEER和計(jì)

2、算流體力學(xué)通用軟件Fluent，使用動(dòng)網(wǎng)格技術(shù)，對(duì)VRD-16雙級(jí)旋片泵的高真空級(jí)泵腔、高低真空級(jí)之間通道、入口通道內(nèi)的流場進(jìn)行數(shù)值模擬，并與VRD-16雙級(jí)旋片泵的理論抽速進(jìn)行比較，證明Fluent仿真模擬雙級(jí)旋片泵是可行的，為下面針對(duì)雙級(jí)旋片泵內(nèi)部流場模擬和分析工作打下了基礎(chǔ)。
　　在對(duì)高低真空級(jí)之間通道內(nèi)氣體的流動(dòng)過程進(jìn)行數(shù)值模擬和分析后，發(fā)現(xiàn)通道內(nèi)存在一段截面面積變化區(qū)域，在這段區(qū)域內(nèi)氣體的流速和壓力值變化很大，改變通道此

3、處的結(jié)構(gòu)，發(fā)現(xiàn)通道截面積變化區(qū)域的結(jié)構(gòu)參數(shù)對(duì)VRD-16雙級(jí)旋片泵的抽氣效率影響很大;當(dāng)截面積過小時(shí)，會(huì)阻礙氣體排出，明顯降低了旋片泵的抽氣效率。
　　基于對(duì)雙級(jí)旋片泵內(nèi)部流動(dòng)特性的研究和分析，發(fā)現(xiàn)原模型吸氣腔在未達(dá)到最大吸氣體積時(shí)已經(jīng)提前結(jié)束吸氣;改變?cè)Ｐ捅们蝗肟谔幗Y(jié)構(gòu)，對(duì)比分析改變結(jié)構(gòu)前后泵內(nèi)部流場分布情況，發(fā)現(xiàn)泵腔入口結(jié)構(gòu)參數(shù)對(duì)泵內(nèi)部氣體流動(dòng)特性和泵的抽氣性能的影響。
　　對(duì)比高真空級(jí)內(nèi)轉(zhuǎn)子與定子切點(diǎn)處的不同間隙值和