鐵電疇的掃描力顯微鏡檢測方法研究.pdf_第1頁
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1、電子科技大學(xué)碩士學(xué)位論文鐵電疇的掃描力顯微鏡檢測方法研究姓名：李松霞申請學(xué)位級別：碩士專業(yè)：材料學(xué)指導(dǎo)教師：包生祥20030101電子科技大學(xué)碩士學(xué)位論文AbstractDomainstructureanditsmovementdeterminethephysicalpropertiesof介rroelectrics.lmcstigationofdomainsisthepreconditiontostudymacroscopicprop

2、ertiesofferroelectrics.Therearemanymethodstoinvestigatedomains.suchaspolarizationmicroscopy.scantingelectronmicroscopytransmissionelectronmicroscopy.scanningelectronacousticmicroscopyandsoon.Howeverthesemethodssufferfrom

3、someseriousdisandvertagesinvolvingcomplexsamplepreparationdamagetosamplelowresolution.SanningForceMicroscopy(SFN4)whichrootsfromatomicforcemicroscopyisageneraldesignationofmicroscopyrelatingtoforcebehavoirtechnology.Beca

4、useofitssimpleoperationhighresolutionwithouttheneedforspecialsamplepreparationSFMispaidgreatatentioninallscientificfields.SFMisaneffectivemethodtostudydomainswithhighresolutionandnondestructivemeasureing.Thispaperstudies

5、theinvestigationmethodsofdoaminusingvoltagemodulatedSFM.DifferentprinciplesandmodesofSFMarediscussed.TheimagingprincipleofpiezoresponseatomicforcemicroscopyscanningnonlineardielectmicroscopyKelvinforcemicroscopyaretheore

6、ticallyanalysedandtheinfluenceofvoltagecontactforceandmicrocantileveronthedomaininvestigationisstudied.Theparametersofinstrumentareoptimizedusingthesamesample.AndtheresultisthatthedomainstructureofPMNPTcanbeachievedsuces

7、sfullyusingDF3RmicrocantileverwhenVac3Vfl=S20kHz.Differentcantileversandelectricfieldsarestudiedrespectivelyinordertoweakenandeveneliminatetheeffectofelectrostaicforce.Theresultsshowthattheinfluenceofelectrostaticcanbedi

8、minishedeffectivelywhenusingcantileverwithhighspringcoefficient.Theworkprovidesnotonlythefoundationofstudyingdomainstructureinferroelectricthinfilmsbutalsothemeansofstudyingfatigueandpolarizationretentioninferroelctric.K

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