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文檔簡介
1、該文在深入研究真空微電子器件場致發(fā)射理論的基礎(chǔ)上,根據(jù)圓錐形、楔形陰極真空微電子三極管的不同特點,分別建立了物理和數(shù)學(xué)模型,在考慮空間電荷密度影響的前提下,以有限元法為基礎(chǔ)采用迭代的方法計算出真空微電子三極管內(nèi)的電勢分布情況,繪制出了等勢線、電子軌跡線,并得到了器件電學(xué)性能隨幾何參數(shù)的變化情況.在對模擬結(jié)果進(jìn)行仔細(xì)分析后,結(jié)合半導(dǎo)體微細(xì)加工的特點在工藝條件允許的范圍內(nèi)建立了一套較完整的真空微電子三極管的優(yōu)化設(shè)計方案,并從試驗上制備出真空
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