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文檔簡介
1、本文用脈沖偏壓電弧離子鍍的方法在高速鋼基體上制備了TiN二元納米晶單層薄膜、不同偏壓強度下的(Ti,Nb)N三元納米晶單層薄膜以及Ti/TiN、TiN/TiC納米多層薄膜,利用X射線衍射儀(XRD)和透射電子顯微鏡(TEM)對薄膜的宏觀及微觀結(jié)構(gòu)進(jìn)行了表征,并結(jié)合掃描電鏡(SEM)和俄歇電子能譜(AES)表征了多層膜的調(diào)制結(jié)構(gòu).硬度和膜基結(jié)合強度是硬質(zhì)薄膜力學(xué)性能表征中最重要的兩個性能指標(biāo),本文分別用納米壓入法和努氏硬度法表征了上述三種
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