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文檔簡介
1、光學制造技術、精密機械加工、計算機輔助設計及裝調技術的發(fā)展,使非球面的制造和應用都有很大的改善。但是非球面元件在加工和檢測上的困難,制約了非球面在光學系統(tǒng)中的廣泛應用。 本文從淺度拋物面非零位干涉檢測角度出發(fā),首先通過計算,確定視頻探測器的最大分辨率,得到ZYGO干涉儀直接檢測非球面的適用范圍。然后通過編制Zernike多項式系數計算程序,并輸入所測非球面的數學模型,計算理想波像差函數。通過ZYGO干涉儀直接檢測淺度非球面,對獲
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