MEMS溫度傳感器批量檢測(cè)系統(tǒng).pdf

1、溫度與我們的生產(chǎn)生活息息相關(guān)，溫度的測(cè)量需要采用溫度傳感器來(lái)進(jìn)行。當(dāng)今傳感器的一個(gè)明顯發(fā)展趨勢(shì)：沿用傳統(tǒng)傳感器的檢測(cè)原理，優(yōu)先選用半導(dǎo)體材料，利用MEMS技術(shù)，從傳統(tǒng)的傳感器設(shè)計(jì)和應(yīng)用，轉(zhuǎn)向以微機(jī)械和微電子為基礎(chǔ)的微型傳感器和智能傳感器的設(shè)計(jì)和應(yīng)用。數(shù)字溫度傳感器市場(chǎng)穩(wěn)步快速發(fā)展，但是落后的檢測(cè)方法及手工檢測(cè)造成的低效率，成為制約其批量生產(chǎn)和影響產(chǎn)品質(zhì)量的主要因素。因此如何實(shí)現(xiàn)數(shù)字溫度傳感器的自動(dòng)批量檢測(cè)，成為大幅提高生產(chǎn)效率的主要問(wèn)題

2、，有必要設(shè)計(jì)開(kāi)發(fā)出一套高效實(shí)用的傳感器批量檢測(cè)系統(tǒng)。
　　本文以數(shù)字溫度傳感器SHT75為實(shí)驗(yàn)對(duì)象，結(jié)合虛擬儀器技術(shù)，設(shè)計(jì)了數(shù)字溫度傳感器的批量檢測(cè)系統(tǒng)，具有多通道選擇、任意溫度點(diǎn)測(cè)量、傳感器參數(shù)標(biāo)定和數(shù)據(jù)傳輸存儲(chǔ)等功能。本文首先介紹了檢測(cè)系統(tǒng)整體方案的設(shè)計(jì)，隨后重點(diǎn)介紹了檢測(cè)系統(tǒng)的兩個(gè)核心模塊--下位機(jī)數(shù)據(jù)采集模塊和上位機(jī)系統(tǒng)軟件模塊--的設(shè)計(jì)與實(shí)現(xiàn)，最后講述了系統(tǒng)運(yùn)行的結(jié)果，總結(jié)已完成的工作和需要改進(jìn)的部分。
　　本文進(jìn)

3、行了如下研究工作：
　　1.設(shè)計(jì)了一套64通道的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了對(duì)SHT75數(shù)字溫度傳感器的批量采集，并能與上位機(jī)進(jìn)行可靠通訊。
　　2.自動(dòng)控制溫度源，可以任意選擇溫度檢測(cè)點(diǎn)，實(shí)現(xiàn)檢測(cè)的自動(dòng)控制。
　　3.實(shí)現(xiàn)了檢測(cè)儀器的虛擬化，用戶(hù)在高度交互性的虛擬控制面板上進(jìn)行簡(jiǎn)單操作，就能實(shí)現(xiàn)檢測(cè)過(guò)程的設(shè)置與控制。
　　4.對(duì)采集數(shù)據(jù)進(jìn)行線(xiàn)性擬合，給出線(xiàn)性參數(shù)，并將數(shù)據(jù)保存至Excel文件。
　　本系統(tǒng)的研制，