FBAR及其振蕩器的研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、隨著無線通信的發(fā)展,通信系統(tǒng)朝著小型化、集成化和低功率的方向發(fā)展。作為一種性能優(yōu)良的射頻濾波器件,薄膜體聲波諧振器(FBAR)擁有著體積小、高品質(zhì)因數(shù)、高工作頻率、高功率容量及與半導(dǎo)體工藝兼容等優(yōu)點,相比于傳統(tǒng)的SAW等器件在性能上有了極大的提高,因而成為國內(nèi)外研究的熱點。
　　 本論文對FBAR器件本身和FBAR應(yīng)用兩方面進行了研究,具體包括了FBAR工藝流程和制備、FBAR模型和本征Q值計算方法、FBAR可調(diào)濾波器和溫度補償

2、的研究、FBAR振蕩器等四個方面,主要的研究內(nèi)容和成果如下:
　　 1、在FBAR典型工藝流程的基礎(chǔ)上,設(shè)計并繪制了FBAR版圖,進行了第一次流片,同時對第一次流片中出現(xiàn)的問題進行了總結(jié),改進了FBAR結(jié)構(gòu),并進行了第二次流片,測試結(jié)果顯示FBAR性能有了提高；結(jié)果表明:FBAR工作頻率為1.2GHz～1.91GHz之間,Q值最高能達到1350。
　　 2、分析了FBAR的若干典型模型,在本課題組提出的PMBVD模型基礎(chǔ)

3、上,創(chuàng)造性得提出了一種消除寄生參數(shù)影響的計算本征Q值的方法,該方法提高了FBAR電路設(shè)計時的仿真精確度。
　　 3、提出了一種FBAR可調(diào)濾波器的技術(shù)方案,設(shè)計了一種FBAR可調(diào)濾波器的拓撲結(jié)構(gòu),并對其進行了仿真驗證；同時提出了一種利用惠斯頓電橋和可變電容管對FBAR進行溫度補償?shù)姆椒?以及一種實現(xiàn)大功率容量的新型FBAR結(jié)構(gòu)。
　　 4、在SMIC0.18um工藝下設(shè)計了一款基于科爾皮茲結(jié)構(gòu)的FBAR振蕩器芯片,振蕩器

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