微機(jī)電系統(tǒng)（MEMS）中超微質(zhì)量檢測(cè)研究.pdf_第1頁(yè)
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1、 本文在分析現(xiàn)有微質(zhì)量測(cè)量方法的基礎(chǔ)上，提出了超微質(zhì)量測(cè)量方法的設(shè)計(jì)思路，大膽采用高精度高回轉(zhuǎn)度的微氣動(dòng)靜壓軸承作為超微質(zhì)量轉(zhuǎn)換裝置的主軸，并結(jié)合激光三角測(cè)量方法將微小偏轉(zhuǎn)角轉(zhuǎn)換成微弱電信號(hào)，然后采用測(cè)量電路對(duì)微弱電信號(hào)進(jìn)行采集放大、模數(shù)轉(zhuǎn)換、運(yùn)算及數(shù)模轉(zhuǎn)換等處理，處理后的信號(hào)經(jīng)過(guò)功率放大后輸出到采用壓電微執(zhí)行器的反饋執(zhí)行機(jī)構(gòu)，從而構(gòu)成一個(gè)閉環(huán)測(cè)量系統(tǒng)，有效地降低測(cè)量系統(tǒng)對(duì)各個(gè)測(cè)量環(huán)節(jié)地精度要求，提高系統(tǒng)整體的精度和穩(wěn)定性。根據(jù)該設(shè)計(jì)

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