高頻聲表面波濾波器的納米壓印技術制備研究.pdf_第1頁
已閱讀1頁，還剩62頁未讀， 繼續(xù)免費閱讀

下載本文檔

版權說明：本文檔由用戶提供并上傳，收益歸屬內容提供方，若內容存在侵權，請進行舉報或認領

文檔簡介

1、隨著通信系統(tǒng)向高頻率和高比特速率的發(fā)展，對聲表面波（SAW）器件的頻率要求也越高，GHz 范圍的高頻SAW 器件研究是目前的熱點。
　　 SAW 器件向高頻化發(fā)展，主要由兩方面決定：一是器件的叉指換能器線條向更微細化方向發(fā)展，二是器件材料的SAW 聲速向更高方向發(fā)展。器件線條的微細化可以直接提高器件的工作頻率，利用納米壓印技術可以實現(xiàn)低成本的，納米級微細線條的制備。本論文研究基于納米壓印技術的高頻聲表面波濾波器的制備。
　

2、　 介紹了聲表面波技術背景，概述了叉指換能器、聲表面波濾波器的基本理論，并詳細推導了叉指換能器的δ模型和等效電路。闡述了帶通聲表面波濾波器的主要設計方法，比較了各種窗口函數加權減低旁瓣的效果，選用漢明窗加權的變跡叉指換能器，設計出了中心頻率為100MHz，帶寬10MHz的SAW 帶通濾波器，并用MATLAB 仿真了其頻響。
　　 利用納米壓印技術對聲表面波濾波器進行制備，獲得了高頻聲表面波濾波器的制備工藝流程。實驗獲得了叉指電

溫馨提示

  • 1. 本站所有資源如無特殊說明，都需要本地電腦安裝OFFICE2007和PDF閱讀器。圖紙軟件為CAD,CAXA,PROE,UG,SolidWorks等.壓縮文件請下載最新的WinRAR軟件解壓。
  • 2. 本站的文檔不包含任何第三方提供的附件圖紙等，如果需要附件，請聯(lián)系上傳者。文件的所有權益歸上傳用戶所有。
  • 3. 本站RAR壓縮包中若帶圖紙，網頁內容里面會有圖紙預覽，若沒有圖紙預覽就沒有圖紙。
  • 4. 未經權益所有人同意不得將文件中的內容挪作商業(yè)或盈利用途。
  • 5. 眾賞文庫僅提供信息存儲空間，僅對用戶上傳內容的表現(xiàn)方式做保護處理，對用戶上傳分享的文檔內容本身不做任何修改或編輯，并不能對任何下載內容負責。
  • 6. 下載文件中如有侵權或不適當內容，請與我們聯(lián)系，我們立即糾正。
  • 7. 本站不保證下載資源的準確性、安全性和完整性, 同時也不承擔用戶因使用這些下載資源對自己和他人造成任何形式的傷害或損失。

評論

0/150

提交評論