雙光路激光干涉測長儀及其在三坐標(biāo)機上的使用.pdf

1、在科研和生產(chǎn)各個領(lǐng)域，隨著高精度的尺寸測量以及應(yīng)用在柔性定位跟蹤系統(tǒng)等各種的需要，激光干涉儀因為其突出的性能和特點，已經(jīng)在越來越多的領(lǐng)域廣泛使用。 該文對新型的雙光路激光干涉測長儀進(jìn)行了研究，著力于使其產(chǎn)品化，更便于實際應(yīng)用。 論文的主要工作包括： 1.論述了這種新型激光干涉測長儀的工作原理及特點。在測量中測頭能從工件的一端移到另一端而不丟光；光路上能補償因測頭系統(tǒng)發(fā)生傾斜而造成的阿貝誤差。 2.設(shè)計制作

2、了所有需要的光學(xué)器件，并研究了這些光學(xué)器件因加工及裝配上的誤差給測量結(jié)果帶來的影響，以及調(diào)試上可能出現(xiàn)的困難。 3.設(shè)計加工出一整套安裝光學(xué)器件的機械裝置，它具有結(jié)構(gòu)簡單可靠，對需調(diào)整的光學(xué)器件各有其獨立的微調(diào)結(jié)構(gòu)，能夠方便地對光學(xué)器件的三個角自由度做出相應(yīng)的調(diào)整。當(dāng)調(diào)試完成后，可組裝為一體，以后測量時只需整體調(diào)整就可使用，不必對其內(nèi)部的光學(xué)器件做單獨的調(diào)整。整個機械結(jié)構(gòu)尺寸小，重量輕。觸發(fā)測頭采用接觸式觸發(fā)，通過平行片簧懸吊測

3、桿、測球及測量鏡，使用電渦流位移傳感器拾取測頭觸發(fā)信號。 4.為使這種激光干涉測長儀能方便地應(yīng)用于三坐標(biāo)機，設(shè)計一套能實際使用的觸發(fā)電路，拾取當(dāng)三坐標(biāo)機運行時，測頭接觸工件時發(fā)出的信號，觸發(fā)激光干涉儀讀取觸發(fā)時的信號并記錄數(shù)據(jù)，并且此觸發(fā)信號還能使三坐標(biāo)機停機，以避免三坐標(biāo)機的繼續(xù)運行而損壞測頭或工件。確定了電渦流位移傳感器的發(fā)訊值，實現(xiàn)微測量接觸力發(fā)訊，以減小測球及測桿在力的作用下接觸變形和彎曲變形。 5.在三坐標(biāo)測量