微納米三坐標測量機的機架設(shè)計及不確定度分析.pdf

1、隨著納米測試技術(shù)的發(fā)展，對三坐標測量機性能及精度不斷提出新的、更高的要求，人們通過對傳統(tǒng)三坐標測量機多方面改進，使得三坐標測量機的性能逐步提高，但要實現(xiàn)納米級精度測量，還有很多問題亟待解決。其中納米三坐標測量機的主體結(jié)構(gòu)對精度及性能的影響引起廣泛重視，因此對主體結(jié)構(gòu)進行優(yōu)化設(shè)計，減小測量機結(jié)構(gòu)的力變形、熱變形，提高測量機的穩(wěn)定性，成為納米三坐標測量機研究的重要組成部分。
　　 本文首先通過分析三坐標測量機幾種傳統(tǒng)結(jié)構(gòu)的力變形，在

2、此基礎(chǔ)上，應(yīng)用ANSYS對納米三坐標測量機的主體結(jié)構(gòu)進行優(yōu)化設(shè)計，提出了一種新型拱形亭式納米三坐標測量機的機架結(jié)構(gòu)。通過對結(jié)構(gòu)的變形分析和模態(tài)分析，結(jié)果表明，該新型結(jié)構(gòu)對提高測量機的性能和精度具有顯著的優(yōu)越性。同時分析了該結(jié)構(gòu)測量機的誤差源，對其精度進行了設(shè)計。
　　 設(shè)計了懸臂式微納米三坐標測量機的主體結(jié)構(gòu)，給出了各部分結(jié)構(gòu)的具體數(shù)值和裝配方式，并加工出實物機臺。同時主體結(jié)構(gòu)進行了自重分析和模態(tài)分析，獲取了該結(jié)構(gòu)的一些具體參數(shù)