自旋閥巨磁電阻隔離器研究.pdf

1、在工業(yè)控制系統(tǒng)、通信及測(cè)量系統(tǒng)中，隔離器是一種應(yīng)用廣泛且十分重要的電子元器件，其作用就是為了消除地電位差，隔離瞬態(tài)事件產(chǎn)生的破壞性噪聲。一直以來(lái)，主要采用光電隔離器將一些破壞性信號(hào)隔離開(kāi)來(lái)。與光電隔離器相比，巨磁電阻隔離器以其集成度高、體積小、速度快、功耗低等諸多優(yōu)點(diǎn)，受到越來(lái)越多的關(guān)注。本論文主要圍繞著巨磁電阻隔離器平面線圈的設(shè)計(jì)仿真、自旋閥薄膜材料的制備、隔離器的制作工藝和性能測(cè)試幾個(gè)方面來(lái)開(kāi)展工作。
　　論文首先研究了巨磁電

2、阻隔離器的結(jié)構(gòu)和工作原理，并對(duì)其中的重要結(jié)構(gòu)平面線圈進(jìn)行了磁場(chǎng)仿真，在此基礎(chǔ)上，確定了巨磁電阻隔離器對(duì)自旋閥薄膜材料的性能要求。
　　其次，根據(jù)巨磁電阻隔離器對(duì)自旋閥薄膜材料的要求，以基本的自旋閥結(jié)構(gòu)為基礎(chǔ)，采用NiFe/CoFe復(fù)合自由層，研究了復(fù)合自由層中NiFe、CoFe以及金屬層Cu的厚度對(duì)自旋閥薄膜材料的性能的影響，經(jīng)過(guò)多次優(yōu)化，得到的自旋閥薄膜材料磁電阻變化為2.7％，矯頑力為15Oe，工作偏置點(diǎn)在H=3Oe，在此基礎(chǔ)