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文檔簡(jiǎn)介
1、隨著MEMS技術(shù)的蓬勃發(fā)展,MEMS產(chǎn)品已經(jīng)廣泛的進(jìn)入了人們的生活,在通信、汽車、消費(fèi)電子、生物醫(yī)療、國(guó)防等各大領(lǐng)域都有應(yīng)用。與此同時(shí),MEMS的可靠性問題也越來越突出,業(yè)已成為制約MEMS產(chǎn)業(yè)進(jìn)一步穩(wěn)定發(fā)展的重要因素。因?yàn)镸EMS系統(tǒng)本身的復(fù)雜性,可靠性設(shè)計(jì)要求在產(chǎn)品設(shè)計(jì)之初就將可靠性因素考慮進(jìn)去,以便縮短產(chǎn)品研發(fā)周期,降低產(chǎn)品成本。這種系統(tǒng)化的方法,在產(chǎn)品從開發(fā)到制成的整個(gè)過程中,涉及到眾多方面的工作,其中十分關(guān)鍵的一項(xiàng)就是針對(duì)ME
2、MS器件進(jìn)行可靠性建模,并利用一定的方法進(jìn)行模擬仿真,以達(dá)到能夠從系統(tǒng)層面上評(píng)估MEMS系統(tǒng)各方面可靠性的目的。本文在這一過程中引入計(jì)算機(jī)輔助分析,開發(fā)了基于節(jié)點(diǎn)分析法的針對(duì)MEMS器件可靠性建模與仿真的輔助分析軟件。
該軟件以節(jié)點(diǎn)分析法為基礎(chǔ),從MEMS器件的結(jié)構(gòu)出發(fā),對(duì)MEMS器件進(jìn)行拆分,通過網(wǎng)表的提取達(dá)到可進(jìn)行等效電路仿真的目的,使該軟件具備IC設(shè)計(jì)的一致描述性和一致性仿真。并且根據(jù)MEMS可靠性相關(guān)研究理論,對(duì)M
3、EMS器件中的常用結(jié)構(gòu)--沖擊下懸臂梁斷裂的可靠性問題進(jìn)行分析,從而評(píng)估系統(tǒng)的可靠性。論文圍繞主要工作首先構(gòu)建了軟件架構(gòu),建立了框架管理系統(tǒng),進(jìn)而實(shí)現(xiàn)各功能模塊的封裝和管理。論文分兩章著重介紹了該軟件的兩個(gè)模塊:節(jié)點(diǎn)分析模塊和可靠性分析模塊。
論文以Visual C++為主要開發(fā)工具,進(jìn)行了用戶圖形界面與主框架的設(shè)計(jì);提出參數(shù)法獲得初始網(wǎng)表的想法并加以實(shí)現(xiàn):開發(fā)拓?fù)鋱D生成連接關(guān)系這一輔助模塊,以期用戶能夠更好地理解節(jié)點(diǎn)法思
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