基于VI的載流子遷移率測(cè)試系統(tǒng)的研制.pdf

1、XTabDrag:入學(xué)日期入學(xué)日期2008年9月答辯日期答辯日期2011年6月專業(yè)專業(yè)材料物理與化學(xué)所在學(xué)院所在學(xué)院理學(xué)院導(dǎo)師姓名導(dǎo)師姓名邱桂明副教授姓名姓名湯震學(xué)號(hào)學(xué)號(hào)10808094英文題目英文題目DevelopmentofMeasurementSystemfgeCarrierMobilityBasedonVirtualInstrument題目基于VI的載流子遷移率測(cè)試系統(tǒng)的研制題目基于VI的載流子遷移率測(cè)試系統(tǒng)的研制碩士學(xué)位論文碩

2、士學(xué)位論文中文摘要中文摘要載流子的遷移率是半導(dǎo)體材料的重要特性參數(shù)。通過(guò)對(duì)遷移率的測(cè)量，可以準(zhǔn)確掌握不同材料的電輸運(yùn)特性。因此，方便、準(zhǔn)確地測(cè)量半導(dǎo)體載流子的遷移率，對(duì)半導(dǎo)體的研究和生產(chǎn)都具有重要的意義。隨著科學(xué)技術(shù)的進(jìn)步，出現(xiàn)了新的測(cè)試儀器——虛擬儀器。虛擬儀器是基于計(jì)算機(jī)的測(cè)試平臺(tái)，具有交互式的圖形界面。由計(jì)算機(jī)、應(yīng)用軟件和硬件組成，通過(guò)軟件把計(jì)算機(jī)硬件資源和儀器硬件有機(jī)融為一體。本文介紹了虛擬儀器的發(fā)展和LabVIEW相關(guān)知識(shí)。本

3、文分析了幾種傳統(tǒng)的測(cè)量半導(dǎo)體載流子遷移率的方法和儀器。針對(duì)傳統(tǒng)方法和儀器存在的測(cè)試條件苛刻、精度不高、設(shè)備昂貴等缺點(diǎn)，文中根據(jù)線性增壓載流子瞬態(tài)譜這一原理，以LabVIEW為平臺(tái)設(shè)計(jì)了一種半導(dǎo)體載流子遷移率測(cè)試系統(tǒng)。詳細(xì)介紹了該系統(tǒng)各部分的硬件組成，詳細(xì)論述了系統(tǒng)軟件的各功能模塊的設(shè)計(jì)和實(shí)現(xiàn)方法，其中包括線性增壓控制模塊、數(shù)據(jù)采集、數(shù)據(jù)存儲(chǔ)與回放等功能模塊。最后，對(duì)該半導(dǎo)體載流子遷移率測(cè)試系統(tǒng)進(jìn)行了調(diào)試和測(cè)試實(shí)驗(yàn)，并對(duì)測(cè)試結(jié)果進(jìn)行了分析