MOTOROLA單片機(jī)MC68HC（8）05PV8-A內(nèi)嵌EEPROM的工藝和制程方法及對良率的影響研究.pdf

1、單片微型機(jī)(SingleChipMicrocomputer)，簡稱單片機(jī)，又稱微控制器(MCU-MicroControllerUnit)，具有體積小、功能強(qiáng)、性能全面、成本低、使用方便等特點(diǎn)，在家用電器、汽車工業(yè)、工業(yè)控制、自動(dòng)化等很多領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。MC68HC(8)05PV8/A單片機(jī)屬于MOTOROLA單片機(jī)中的68HC05家族8bit系列，是專門為汽車電子中的低功耗、單片上系統(tǒng)設(shè)計(jì)。 由于MC68HC(8)05PV

2、8/A應(yīng)用于汽車電子領(lǐng)域，其產(chǎn)品要求有很高的可靠性，而對于其內(nèi)部所包含的EEPROM，由于需要承受多次擦寫操作，其隧道氧化層要承受高壓和高電壓，因此其可靠性的高低就成為影響產(chǎn)品良品率好壞的重要因素。 該課題針對MC68HC(8)05V8/A產(chǎn)品良率不高的問題，從工藝和制程方法等方面分析其對良率的影響，找到問題所在，并提出以下幾方面的問題解決方案： 首先，觀察產(chǎn)品在后道工藝特別是老化實(shí)驗(yàn)和最終測試階段的工藝制程，找出其中存

3、在的老化實(shí)驗(yàn)時(shí)間設(shè)定不準(zhǔn)確的問題，并通過計(jì)算、采樣、實(shí)驗(yàn)和分析結(jié)果等步驟，得出準(zhǔn)確的產(chǎn)品的偶然失效期時(shí)間和老化實(shí)驗(yàn)時(shí)間。 其次，針對在老化實(shí)驗(yàn)中出現(xiàn)的大量由于設(shè)備和人為的原因造成的次品，并不屬于真正次品的問題，通過對老化實(shí)驗(yàn)程序的修改，減少了次品的產(chǎn)生，提高了產(chǎn)品在最終測試的良品率，并減少了生產(chǎn)周期。 第三，從EEPROM的工作機(jī)理和工藝角度分析，找到主要影響EEPROM性能的主要原因，發(fā)現(xiàn)閾值電壓對EEPROM的影響，