基于激光捕捉技術(shù)的微細加工.pdf

1、該文首先介紹了現(xiàn)有微細加工方法并對其進行比較,提出基于激光捕捉(LaserTrapping)實現(xiàn)微細加工的新技術(shù).激光捕捉技術(shù)又形象地被稱為光鑷,它是激光光壓的主要應(yīng)用之一,是利用一束高度會聚的激光形成的三維勢阱實現(xiàn)對微小粒子(亞微米到數(shù)十微米大小)精確定位和操控.文中綜述了這一新型技術(shù)的研究現(xiàn)狀,目前已廣泛應(yīng)用于生物,醫(yī)學、物理和化學等領(lǐng)域中,但在微細加工應(yīng)用方面的研究國內(nèi)外尚處于起步階段.R.C.GAUTHIER在1997年首次提出

2、將"光鑷"應(yīng)用于微加工領(lǐng)域,可實現(xiàn)對微小器件的非接觸式移動、操縱和組裝,但R.C.GAUTHIER未提到將它應(yīng)用于表面或體微細加工.文中創(chuàng)新性的提出將幾個微米的高強度微粒子(如金剛石、碳化硅、石英等)作為微加工工具,在光鑷的驅(qū)動下在加工表面產(chǎn)生移動、高速轉(zhuǎn)動及振動,從而完成微米乃至納米級的加工任務(wù).這種新型加工技術(shù)具有易實現(xiàn)、易控制、高加工精度、可實現(xiàn)三維加工的四大特點,克服了現(xiàn)有加工方法的缺點.該文從理論和實驗兩方面研究對其進行了論證