微構件拉伸測試技術及其力學性能研究.pdf_第1頁
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文檔簡介

1、大連理工大學博士學位論文微構件拉伸測試技術及其力學性能研究姓名：張段芹申請學位級別：博士專業(yè)：微機電工程指導教師：褚金奎20091101微構件拉伸測試技術及其力學性能研究另外，對電鑄鎳薄膜梁進行了微拉伸測試。電鑄鎳拉伸試樣采用準LIGA技術制作，氨基磺酸鎳為電鑄液。測量結果表明：高電流密度下制備出的微結構致密度較差，具有較高的氣孔率，并且楊氏模量與氣孔率的關系遵循指數(shù)經(jīng)驗公式，其測量值與計算值比較吻合。在本文工藝條件下，當電流密度為20

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