基于Monte Carlo方法的LPCVD模擬.pdf_第1頁
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文檔簡(jiǎn)介

1、東南大學(xué)碩士學(xué)位論文基于MonteCarlo方法的LPCVD模擬姓名：戴建揚(yáng)申請(qǐng)學(xué)位級(jí)別：碩士專業(yè)：電子科學(xué)與技術(shù)；微電子學(xué)與固體電子學(xué)指導(dǎo)教師：李偉華；周再發(fā)20110419ABSTRACTAbstractTheconceptofMEMS(MicroElectroMechanicalSystem)beganinthe1980sMEMSisanewInterdisciplinarydisciplinebasedonintegratedc

2、ircuitstechnologywithgooddevelopmentinthefutureTheprocessofMEMSis011thebottomofMEMSdesignandfabricationanditdecidestheperformanceoftheMEMSdevicesExistingcommercialMEMSCADtoolsaremainlyconcentratedinthemainfunctionofsyste

3、mleveldesignanddevicestructuredesignetc，butinvolveverylittleonprocesssimulationTherefore，theresearchonsimulationofthebasicprocessofMEMS，aswellasthemodelingofbasicprocesshaveveryimportantsignificanceLPCVDisthemostcommonth

4、infilmdepositiontechnologyandisextensivelyusedinMEMSandICforitsgoodperformanceThemechanismofLPCVDisverycomplexSOtherearemanyLPCVDmodelsThemodelscanbedividedintotwokinds：onedescribestheprocessofLPCVDusingBoltzmanequations

5、andpneumodynamicsandtheotheroneusingMonteCarlomethodMonteCarlomethodistousethemethodofstatisticaldistributiontosolvespecificissues，especiallyforLPCVDprocesssimulationbasedonbehaviorofalargenumberofparticles，anditisusedmo

6、rewidelyThispaperfocusesontheLPCVDmodelingbasedonMonteCarlomethodandthesimulationalgorithmThedepositionprocessisregardedasthecombinationofintermediatedepositionandintermediateproductdepositionTheproportionisusedtodescrib

7、etheratioofintermediatetointermediateThetransportprocessofgasparticleisdividedintodirecttransferreemissionandsurfacediffusionThestickingcoefficientisusedtodescribethethreeprocessesBystudyingthetransportationofnumerouspar

8、ticlesinstructure，wecallobtaintheeffectivedistributionoftheparticleflowWiththeparticleflows，wecarlgetthelocaldepositionrateByusingEuleralgorithmwecanfinallygetthedepositionprofileWeprogramtocalculateusingCandhandlegraphi

9、csdatausingMatlabThesoftwareCanshowthedifferencesofparticledistributionandprofilewiththechangesofstickingcoefficienttheproportionofAandaspectratioofthestructureThesimulationresultisfoundtObeinagreementwiththeexperimental

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