半導(dǎo)體擴(kuò)散工藝控制及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)的研制.pdf

1、針對(duì)國(guó)內(nèi)外半導(dǎo)體生產(chǎn)設(shè)備控制系統(tǒng)的現(xiàn)狀，確定以半導(dǎo)體生產(chǎn)企業(yè)的擴(kuò)散/氧化控制系統(tǒng)為研究對(duì)象，并根據(jù)以往的基于工業(yè)控制計(jì)算機(jī)控制系統(tǒng)的特點(diǎn)和基于微機(jī)測(cè)控網(wǎng)絡(luò)或現(xiàn)場(chǎng)總線控制系統(tǒng)的特點(diǎn)，從實(shí)際應(yīng)用角度出發(fā)設(shè)計(jì)研制一種經(jīng)濟(jì)實(shí)惠、安全可靠、高性能的擴(kuò)散/氧化系統(tǒng)勢(shì)在必行。
　　本課題主要研究半導(dǎo)體擴(kuò)散工藝控制及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)。整套系統(tǒng)中，上位機(jī)數(shù)據(jù)處理軟件設(shè)計(jì)采用Delphi7作為開(kāi)發(fā)工具，利用微軟提供串口通信控件－MSComm控件實(shí)現(xiàn)上位機(jī)

2、數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)與下位機(jī)控制系統(tǒng)的數(shù)據(jù)采集和控制功能；下位機(jī)控制系統(tǒng)主要實(shí)現(xiàn)擴(kuò)散/氧化工藝中對(duì)溫度、氣體流量、推拉舟的閉環(huán)控制。
　　本課題對(duì)擴(kuò)散/氧化工藝控制及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)中溫度的檢測(cè)、上位機(jī)數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)的開(kāi)發(fā)和安裝進(jìn)行了深入的研究和開(kāi)發(fā)。
　　(1)根據(jù)擴(kuò)散/氧化工藝的實(shí)際應(yīng)用要求，提出了基于Delphi7的半導(dǎo)體擴(kuò)散工藝控制及數(shù)據(jù)處理系統(tǒng)的總體設(shè)計(jì)方案。
　　(2)自主研發(fā)高精度溫度檢測(cè)模塊，該模塊可有效地替換各種使

3、用溫控儀表的控制系統(tǒng)，具有價(jià)格低、精度高、可靠性好的特點(diǎn)。
　　(3)上位機(jī)數(shù)據(jù)處理軟件的開(kāi)發(fā)設(shè)計(jì)。上位機(jī)數(shù)據(jù)處理軟件實(shí)現(xiàn)對(duì)單套擴(kuò)散/氧化工藝控制系統(tǒng)的各工藝參數(shù)的檢測(cè)、處理、保存及工藝過(guò)程的控制；一臺(tái)上位機(jī)可安裝多套系統(tǒng)，每套系統(tǒng)獨(dú)立運(yùn)行、互不干擾，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)對(duì)多套擴(kuò)散氧化系統(tǒng)的管理和控制。
　　(4)上位機(jī)系統(tǒng)的安裝。本文單獨(dú)開(kāi)發(fā)設(shè)計(jì)針對(duì)本系統(tǒng)的安裝軟件；該安裝軟件自動(dòng)注冊(cè)激活MSComm控件，一臺(tái)上位機(jī)可安裝1-4套上位