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1、隨著半導(dǎo)體制造工藝和技術(shù)的高速發(fā)展,電力電子系統(tǒng)的應(yīng)用領(lǐng)域越來(lái)越廣泛,電子設(shè)備的種類也越來(lái)越多,電子設(shè)備已經(jīng)是人們的工作、生活中必不可少的工具。任何電子設(shè)備都離不開(kāi)可靠的電源,為了使電子設(shè)備安全、穩(wěn)定和可靠的工作,必然會(huì)對(duì)它們的電源提出越來(lái)越高的要求?,F(xiàn)代社會(huì)中,由于工作需要必然會(huì)對(duì)某些工具的硬度有一定的要求,為了滿足這個(gè)要求,在產(chǎn)品的生產(chǎn)過(guò)程中,往往需要對(duì)這些產(chǎn)品進(jìn)行表面鍍膜,以增強(qiáng)其耐磨性和耐刮性:譬如日常生活中的自行車車圈和金屬器
2、皿等等。在物理化學(xué)領(lǐng)域,這屬于表面處理改性,需要使某種氣體在一個(gè)密封的近似真空環(huán)境的爐體里進(jìn)行強(qiáng)電場(chǎng)等離子體電離,使這些等離子體沉積在基件表面形成一層致密的薄膜。只有在真空爐的兩個(gè)電極施加一定頻率的脈沖電壓形成等離子體相對(duì)而言容易些,而這又需要一個(gè)高頻脈沖電源。本論文所研制的高頻脈沖電源完全可以滿足這種需要。為了能夠提供大功率的輸出,本文所設(shè)計(jì)的用IGBT作為功率器件的高頻脈沖電源采用三相工頻交流電電源輸入,經(jīng)過(guò)接觸器、三相調(diào)壓模塊調(diào)壓
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