冷陰極等離子體調(diào)制開關(guān)磁場設(shè)置與柵極控制的基礎(chǔ)分析.pdf

1、冷陰極等離子體交叉場調(diào)制開關(guān)（PlasmadischargeCROSSATRONmodulatorswitch，簡稱PCMS管）是一種新型冷陰極等離子體脈沖功率放電器件，其工作是基于氣體放電的相關(guān)理論，并結(jié)合交叉電磁場對于氣體放電的影響，實現(xiàn)對脈沖大電流的通斷控制。作為一種高精度，小型化的開關(guān)器件，對于器件的各個部件的制作加工有極高的要求，制作周期長，費用高，完全通過實驗的方法研究并不現(xiàn)實。而采用數(shù)值模擬的方法對器件的關(guān)鍵技術(shù)進行仿真模

2、擬將使研究的過程得到優(yōu)化。
　　 本文根據(jù)氣體放電相關(guān)原理建立了管內(nèi)氣體的雙流體漂移擴散二維模型，并使用基于有限元法的多物理場仿真模擬軟件ComsolMultiphysics4.0對器件模型進行了模擬，模擬內(nèi)容包括:
　　 1.柵極對器件內(nèi)部的放電狀態(tài)起到控制作用，特別是預電離階段源柵極與陰極間的放電過程對器件的正常工作有著決定性的作用。在二維平面兩電極間的直流放電模型基礎(chǔ)上進行了放電過程模擬;然后進行了極間距對器件工作