金屬光柵全面等離子體共振傳感器的研究.pdf

1、表面等離子體共振(SurfacePlasmonResonance，SPR)技術(shù)是通過(guò)監(jiān)測(cè)金屬表面物質(zhì)折射率的變化情況來(lái)分析研究物質(zhì)的性質(zhì)的一種新興生物化學(xué)監(jiān)測(cè)技術(shù)。由于該技術(shù)具有對(duì)檢測(cè)樣品無(wú)需標(biāo)記、可以實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)監(jiān)測(cè)等特點(diǎn)，使得基于SPR技術(shù)的SPR共振傳感器逐漸成為研究的新熱點(diǎn)。目前對(duì)SPR傳感器的研究的一個(gè)重要方面是提高該傳感器的靈敏度。本文立足于研究光柵耦合式SPR傳感芯片，主要研究如何通過(guò)改變金屬光柵結(jié)構(gòu)增強(qiáng)SPR共振峰的值。

2、r>　　 本論文基于表面等離子體共振原理與嚴(yán)格耦合波分析方法，研究金材料光柵的SPR共振傳感器。采用計(jì)算機(jī)模擬的方法，運(yùn)用嚴(yán)格耦合波分析方法，模擬計(jì)算了在紅外波段光入射下一維矩形金光柵及正弦金光柵在不同光柵結(jié)構(gòu)參數(shù)下的反射率，得到了這兩種光柵不同光柵結(jié)構(gòu)參數(shù)下的SPR共振光譜，進(jìn)而分析了這兩種光柵的不同結(jié)構(gòu)參數(shù)對(duì)表面等離子體共振的影響。先后分析了矩形光柵的凹槽深度、光柵占空比、光柵金基底的厚度對(duì)表面等離子體共振的影響；分析了正弦金光柵