鐵電ZnO薄膜晶體管的制備及其性能研究.pdf

1、學(xué)校代號10530學(xué)號200910061140分類號TN304.055密級碩士學(xué)位論文鐵電鐵電ZnO薄膜晶體管的薄膜晶體管的制備及制備及其性能研究其性能研究學(xué)位申請人譚秋紅指導(dǎo)教師王金斌教授學(xué)院名稱材料與光電物理學(xué)院學(xué)科專業(yè)微電子學(xué)與固體電子學(xué)研究方向半導(dǎo)體物理與半導(dǎo)體器件物理二〇一二年五月二十日湘潭大學(xué)湘潭大學(xué)學(xué)位論文原創(chuàng)性聲明學(xué)位論文原創(chuàng)性聲明本人鄭重聲明：所呈交的論文是本人在導(dǎo)師的指導(dǎo)下獨立進行研究所取得的研究成果。除了文中特別加

2、以標注引用的內(nèi)容外，本論文不包含任何其他個人或集體已經(jīng)發(fā)表或撰寫的成果作品。對本文的研究做出重要貢獻的個人和集體，均已在文中以明確方式標明。本人完全意識到本聲明的法律后果由本人承擔。作者簽名：日期：年月日學(xué)位論文版權(quán)使用授權(quán)書學(xué)位論文版權(quán)使用授權(quán)書本學(xué)位論文作者完全了解學(xué)校有關(guān)保留、使用學(xué)位論文的規(guī)定，同意學(xué)校保留并向國家有關(guān)部門或機構(gòu)送交論文的復(fù)印件和電子版，允許論文被查閱和借閱。本人授權(quán)湘潭大學(xué)可以將本學(xué)位論文的全部或部分內(nèi)容編入有