基于PCI總線的光纖數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng)研究.pdf

1、光刻機(jī)是IC制造中最為核心也是最為復(fù)雜的裝備,國(guó)家制定了長(zhǎng)遠(yuǎn)的科技計(jì)劃,對(duì)光刻機(jī)進(jìn)行研究,為了配合光刻機(jī)精密運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)的研制,本文就應(yīng)用于光刻機(jī)運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)輔助測(cè)試的光纖數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng)進(jìn)行了研究和開(kāi)發(fā)。系統(tǒng)通過(guò)高速光纖接口從運(yùn)動(dòng)控制卡中接收數(shù)據(jù),然后通過(guò)PCI總線將這些數(shù)據(jù)發(fā)送到PC中去,由PC對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行分析和處理。
　　光纖數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng)由光纖接口、PCI總線接口和用于控制和時(shí)序轉(zhuǎn)換的可編程邏輯控制器三個(gè)部分組成。光纖接口的物理鏈

2、路部分使用光電轉(zhuǎn)換模塊進(jìn)行光電轉(zhuǎn)換,使用SERDES進(jìn)行收發(fā)數(shù)據(jù)的串并轉(zhuǎn)換和接收數(shù)據(jù)提取與時(shí)鐘恢復(fù)。PCI總線使用專用的接口芯片,將復(fù)雜的、難以處理的PCI總線時(shí)序轉(zhuǎn)換成簡(jiǎn)單的、易于處理的本地總線時(shí)序。FPGA在光纖接口處進(jìn)行數(shù)據(jù)編碼解碼和傳輸控制,實(shí)現(xiàn)光纖傳輸?shù)逆溌穼庸δ?在PCI接口處對(duì)PCI專用芯片的本地總線的時(shí)序進(jìn)行解析,同時(shí)進(jìn)行整個(gè)系統(tǒng)的時(shí)序轉(zhuǎn)換和功能控制,完成整個(gè)系統(tǒng)的中斷控制。
　　本文首先對(duì)基于PCI總線的光纖數(shù)據(jù)

3、傳輸系統(tǒng)的方案進(jìn)行確定,然后進(jìn)行系統(tǒng)的原理分析和硬件電路設(shè)計(jì),接著進(jìn)行可編程邏輯控制器件的程序開(kāi)發(fā),之后在Windows操作系統(tǒng)下進(jìn) PCI接口的驅(qū)動(dòng)程序開(kāi)發(fā),最后對(duì)硬件板卡進(jìn)行調(diào)試,對(duì)整個(gè)光纖數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)試。
　　測(cè)試結(jié)果表明,光纖數(shù)據(jù)傳輸系統(tǒng)已經(jīng)實(shí)現(xiàn)通過(guò)光纖接收運(yùn)動(dòng)控制卡的數(shù)據(jù),然后將數(shù)據(jù)通過(guò)PCI總線發(fā)送到PC中去,光纖傳輸速度為1.25Gbit/s,24小時(shí)沒(méi)有誤碼, PCI接口速度滿足運(yùn)動(dòng)控制卡的數(shù)據(jù)傳輸要求。目前