納米柔性電子制造溫度場預(yù)測控制技術(shù)研究.pdf

1、納米制造技術(shù)是制造領(lǐng)域中新一代的熱點技術(shù),對人類應(yīng)用納米材料具有重要意義。而納米制造微環(huán)境溫度場控制在納米制造過程中起著非常重要的作用。然而,納米制造微環(huán)境具有大時滯、非線性畸變、不確定性、時變、復(fù)雜約束等特點,傳統(tǒng)的PID控制難以在足夠大范圍內(nèi)保障穩(wěn)定、精確與均勻的溫度場,因此,必須用具有“模型預(yù)測”“滾動優(yōu)化”和“反饋矯正”特征的模型預(yù)測控制協(xié)調(diào)處理上述復(fù)雜特性。本文根據(jù)納米制造溫控箱機(jī)械結(jié)構(gòu)特性,運用系統(tǒng)辨識方法辨識出了溫控箱的數(shù)

2、學(xué)模型,并分析了模型預(yù)測控制中的動態(tài)矩陣控制算法(DMC),對DMC控制算法在恒溫箱溫度控制系統(tǒng)中的應(yīng)用進(jìn)行了仿真分析并與傳統(tǒng)的PID控制效果進(jìn)行了比較。
　　首先,對納米制造微環(huán)境溫控箱的機(jī)械結(jié)構(gòu)特性進(jìn)行了分析,驗證了分離式恒溫箱的設(shè)計結(jié)構(gòu)與傳統(tǒng)的一體式溫控箱具有明顯的抗干擾,精度高的優(yōu)勢;運用系統(tǒng)辨識方法辨識出了溫控箱的數(shù)學(xué)模型。
　　然后,對模型預(yù)測控制中的動態(tài)矩陣控制算法進(jìn)行了理論分析,動態(tài)矩陣控制采用了實驗易于得到