移相干涉儀中的振動探測及分析.pdf

1、移相干涉儀對工作環(huán)境振動非常敏感，在Φ600mm的大口徑波長移相干涉儀中，為了減小環(huán)境振動的影響，采用了一種改變可調(diào)諧激光器的波長來補(bǔ)償振動帶來的影響的主動抗振技術(shù)。
　　 本文設(shè)計(jì)了一個干涉場中的光強(qiáng)探測電路。光強(qiáng)探測電路利用的光電二極管的光電導(dǎo)模式探測光強(qiáng)信號，并將光信號轉(zhuǎn)換成電信號，通過一個同相比例運(yùn)算放大電路將其放大，輸出給后面的處理系統(tǒng)。電路的設(shè)計(jì)具有噪聲低(輸出噪聲小于1mv)和響應(yīng)頻率高(大于3000Hz)的特點(diǎn)。

2、為了有效的探測出干涉儀中振動的各種頻率，探測電路在探測振動信號時必須要有足夠大的采樣頻率和采樣長度才可以達(dá)到要求。實(shí)驗(yàn)表明，要滿足要求采樣頻率要大于1000Hz，采樣長度要大于10s。根據(jù)影響干涉儀工作的環(huán)境振動的分類，對常見的幾種環(huán)境振動形式進(jìn)行的實(shí)驗(yàn)，包括非周期性的等振幅振動信號、周期性矩形脈沖信號、周期性等振幅振動信號、非周期性的非等振幅振動信號、脈沖沖擊振動信號以及沒有附加振動源的實(shí)驗(yàn)室的環(huán)境振動等情況。實(shí)驗(yàn)結(jié)果表明，干涉儀工作